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真空科技應用

真空腔體、壓力流量、聯鎖控制與製程開發。

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真空科技應用

真空腔體、壓力流量、聯鎖控制與製程開發。

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RS-VAC-VC1

智慧真空製程控制系統

整合真空壓力、流量、閥件、幫浦與安全聯鎖的開發平台。

控制項目壓力、流量、閥件、幫浦與聯鎖控制核心PLC / MCU / IPC資料紀錄趨勢、事件、警報與批次資料